主要設備

精密荷重測定に使用する引張試験装置や防水検査を行うヘリウムリーク分析装置等、信頼性を分析する設備を多く保有しています。

主要設備リスト

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  引張試験機

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  ヘリウムリークテスター

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  熱衝撃設備

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  高温恒湿設備

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  塩水噴霧設備

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  表面粗さ測定器

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  XRF測定器

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  3次元測定器

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  電導度測定

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  FE-SEM

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  3次元測定機(接触型)

1.引張試験器（精密荷重測定）

上下に引っ張り、接合部分の引張力の測定に使用します。

2.ヘリウムリークディテクタ（防水検査）

真空排気しヘリウムのみを検知するので、気密性、防水性を検査します。

３.FE-SEM

表面を何万倍にも拡大して、その一部分のみに存在する物質の元素や濃度を測定できます。
多層膜の膜厚評価に使用します。

4.レーザー顕微鏡

レーザー光を試料の特定の狭い範囲に焦点を合わせ、像を検出します。
そのため、光を全面に照射する一般の顕微鏡と違って厚い試料でもピントを合わせた画像を得ることが可能です。
加工接続部分を細かく検査する事ができます。

5.原子吸光高度計

試料を高温中で原子化し、そこに光を透過して吸収スペクトルを測定することで、主に水溶液中に含まれる微量元素の同定および定量を行うことが可能です。

6.紫外・可視分光光度計

紫外領域と可視領域の光の領域を用いて溶液の吸収スペクトルを測定し定量分析を行えます。
また、蒸着面を透過スペクトルや反射スペクトルが測定し、各種の特性評価を行います。

7.表面粗さ測定機

触針で加工表面をトレース、表面の凹凸を検出し、定性的、定量的に解析します。

8.FT-IR

化合物分子の赤外線吸収スペクトルを利用して化合物を定性・定量する測定法です。

9.電流測定器

TRI処理時の電流値を測定します。

10.電導度測定器

イオン交換水等の電導度を測定します。

11.液成分分析計

各種薬品の濃度分析を行います。